Ulvac Ceraus Z-1000 PVD
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Ulvac Ceraus Z-1000 PVD

商家设备
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PVD

类型

2000年

年份

8

晶片尺寸

基本信息

  • 型号:Ceraus (Z-1000)
  • 类型:PVD
  • 年份:2000年
  • 晶片尺寸:8
  • 设备数量:1
  • 销售状态:已出售

设备描述

Form : Multi chamber Type (C to C) Substrate Size : dia.200 mm Configuration : Cassette-Chamber ×2 Sputter Chamber × 2 (LTS) Vacuum Pump : Turbo molecular pump + CRYO Trap + Dry Pump Sputter Source : dia.300 Cathode Power source : DC Process Gas : Ar

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